2019.10.07　ET News

韓国のPresysシステムが20年間培ってきた半導体用超高真空バルブ技術を基に、11世代OLED用超高真空バルブを国産化し、国内外の大型FPD製造装置市場の攻略に本格的に乗り出す。

Presysシステムのエンジニアが超高真空バルブの性能テストを実施している。

Presysシステムが超高真空バルブの分野で20年以上蓄積した技術力を基に、11世代OLED用超高真空大型バルブをグローバル企業より先行して発売し、韓国内の大型フラットパネルディスプレイ（FPD）市場はもちろん、海外市場攻略に乗り出し付けた。

特に近年、半導体・ディスプレイ微細化、生産量の増加など、急速な技術進歩とともに、これにふさわしい耐久性、高清浄、高真空など厳しい工程条件が要求され、Presysシステムをはじめとする、スイス、日本など一部の企業だけで超高真空バルブを量産している。超高真空バルブは外部との遮断の役割があり、工程の真空度を適切に維持するために必要な重要な製造装置の部品である。

Presysシステム（代表ソジンチョン）は、コエックスで8〜11日に開催する「第21回SEDEX」で、スイス・日本などの企業よりも先に開発した11世代OLED用超高真空大型バルブ（モデルT-MOTION Large Rectangular Gate Valve）を初めて展示すると7日明らかにした。

11世代OLED用超高真空大型バルブは、プロセスチャンバとチャンバの間の接続部分に設置してゲートバルブの役割を果たしている。最近FPD量産環境で必要とされる超高真空の完璧な遮断性能を有し、チャンバー内に流入する空気を完全に遮断、工程に必要な超高真空形成過程に重要な役割をする。

同社は、今回のOLED用超高真空大型バルブの発売をきっかけに、第5世代、第6世代、第8.5世代、第11世代などOLEDの分野で様々な超高真空バルブ製品ラインナップを完成した。ドアバルブ、スロットバルブ、スイングバルブ、ペンデュラムバルブ、RPCバルブなどの半導体用・LCD用超高真空バルブの開発も完了し、半導体・フラットパネルディスプレイの真空部品市場での競争力を完備した。

Presysシステムは、今年の半導体装置の産業に続き、FPD機器産業向けも網羅して、グローバルな超高真空バルブの供給企業として生まれ変わる予定である。同社はすでに、国内外の半導体素子・半導体製造装置企業の60事業所向けに、超高真空バルブを供給している。米国支社設立に続き、中国市場への進出も本格化するために支社設立を進めている。

特に、中国・アメリカ・ヨーロッパなどの企業10カ所の製品を既に供給したのに続き、今年、日本市場にも超高真空バルブを輸出する成果を上げると予想した。現在、日本の製造装置メーカーと超高真空バルブの輸出協議を進め、供給契約の締結を目前にしている。

これはPresysシステムの超高真空バルブの優秀な部品性能が評価された結果である。製品は、耐久性と完璧な遮断、不純物の発生抑制、メンテナンスの利便性など優秀技術を前面に出して、半導体・ディスプレイの顧客の利便性を高めている。さらに、グローバル企業に比べても高いレベルの品質とコスト競争力、管理、迅速な技術サポート対応などの諸条件を十分に備えている。

ソジンチョン代表は「OLED分野で多様な製品を発売し、独自の保有している評価設備を活用して、さまざまな製品の検証を進めたので、既に装置メーカーと素子メーカーで実装テストを進め、満足のいくレベルの製品として認められた」と述べた。