毎日経済ギムジェグァン記者 2016.08.07 一分野に精通した経験は、他の分野でも通じる この言葉は、1993年設立の当初より、レーザーを応用した半導体製造装置の開発を行ったEOテテクニクスにぴったり当てはまる。EOテクニクスは、最近に成長している有機発光EL(OLED)加工装置の分野で良い結果を期待している。昨年の不振を経験した半導体製造装置の分野でも、今年の反転を図っている。 最近、スマートフォンのディスプレイに既存の液晶表示装置(LCD)の代わりにOLEDが注目され始め、曲がるOLEDパネル製造の重要製造装置であるポリイミド基板切断、レーザーリフトオフ装置などを製造するEOテクニクスのディスプレイ製造装置の売上高は、昨年より約2.5倍増加した1,500億ウォンに達すると予想されている。 最近会ったEOテクニクスの関係者は、「OLEDは、工程が難しく、より精密な加工装置が必要で、このような装置を作ることができレーザー技術を保有している企業は、全世界でEOテクニクスのほか、二、三社しかない」と述べた。 昨年の半導体製造装置の分野で困難を経験したが、今年は売上向上を期待している。別のEOテクニクスの関係者は、「今年末までに、既存のウェーハ製造機器の納入が完了する予定」と伝えた。 今年末から新しい半導体用レーザー加工装置の新規顧客を獲得するための活動を本格化する。EOテクニクスは、半導体表面の欠陥部をレーザーで処理するレーザーアニール装置のサンプルを2台、サムスン電子半導体事業部に供給し、テストを受けている。