2022年4月27日　UBIリサーチ

現在商用化されているFMMはDNPのようなマスクメーカがウエットエッチングでインバーFMMスティックを作った後、OLEDパネルメーカがフレームにFMMスティックを溶接して作られる。第6世代に使用されているFMMの厚さは20umであり、シャドウ効果を減らすためにはFMMの厚さを減らしたり、taper angleを減らす方法などがある。 

韓国のAPSでは厚さ調整プロセスを通じて、8umの厚さの非常に薄いインバーFMMを作成した。このＦＭＭは厚さが薄いだけでなく表面均一性にも優れており、ＡＲ／ＶＲ用ＯＬＥＤ工程にも適用されると期待されている。

FMMに使用されるウエットエッチングプロセスは全方向性を持っており、undercutが生じる。 APSはこれを解決するためにレーザーを使用した方向パターニング技術を開発した。 Femto second IRレーザーを使用してFMMを加工し、テープアングルを制御するので熱伝導率も低い。また、APSはマルチビームパターニング技術を使用して、1つのレーザービームを複数に分割してTACTタイムを効果的に改善した。

APSは3,000ppi以上の解像度を実現するためのUVレーザーシステムを開発中である。 UVレーザーシステムにはmulti beamとoptical setup、振動防止、tension weldingなど様々な変数が多いが、FMMのパターン形状とポジションが非常に正確な利点がある。 APSはUVレーザーパターニングデモシステムを利用して、4～5ミクロンサイズのホールを作るために努力している。