○2022年11月18日 UBIリサーチ
2022年11月9日から11日までフェニックス平昌で開かれた「2022ディスプレイ総括ワークショップ」で、ジュスンジュスンエンジニアリング(Jusung Engineering)が第8世代向けの超薄膜OLED封止装置の技術開発研究課題に対する発表を行った。
2028年までに大型OLED市場が継続的に成長すると予想されるため、高解像度実装と低電力での輝度を確保するためのトップエミッション構造が不可欠であり、そのための高性能封止膜が必要で、「韓国はＯＬＥＤのトップであるにもかかわらず、海外からの製造装置の依存度が非常に高い。市場確保が難しい従来のモバイル市場ではなく、高付加価値の大面積OLED用第8世代向けの封止装置市場の先取りとグローバルスタンダード化が必要だ」と述べた。
ジュスンエンジニアリングは、当該研究課題のうち主管で1次年度に6世代ハーフ装置に対する低水素SiONプロセス確保を完了したと明らかにした。1次年度の詳細課題の研究内容としては、6GハーフALDCVD評価と4点式個別駆動マスクアリグン開発、6GハーフESC開発などがある。
2次年度の2022年には、第8世代ハーフ装備に対する低水素複合膜評価を進行中だ。6G halfおよび8G half装置を用いた単位工程評価は11月中の評価予定であり、2次年度1詳細課題の研究内容としてはESC量産検証と8G half ALC/CVD Hybrid製作、8G TC/LL製作などがある。
最後に、「研究課題の期待効果として、素材・部品・装置企業のグローバル競争力強化と源泉技術確保効果が得られ、韓国内大企業も外国からの装置の依存度減少と開発速度向上の利点がある。国家的には雇用安定及び雇用創出はもちろん、素材、部品、装置の輸入国から輸出国に転換する良い機会になることができる」と強調して発表を終えた。
