2018.08.20　ET News

サムスンディスプレイが新しい蒸着ソース技術を開発した。次世代生産ラインに適用されるものと思われる。高解像度の限界にぶつかったフレキシブル有機EL（OLED）市場で4K（UHD）の解像度を実現することができるか、注目を集めている。

20日、業界によると、サムスンディスプレイは、最近蒸着装置の重要部品である蒸発源を、新しい面ソース方式に変える案を準備している。

蒸着装置は粉末形態の有機物に高温を加え、気体に蒸発させて基板に成膜する装置である。気化した有機物が基板に薄く均等に成膜するように設計する技術が重要である。 

サムスンディスプレイは、キヤノントッキの蒸着装置を使用しているが、蒸着装置の重要部品である蒸発源は、独自の技術で開発して使用している。キヤノントッキがサムスンディスプレイのほか、国内外の多くのパネルメーカに蒸着装置を供給しても、この重要な部品が異なるので、同じ性能を出すことができない。 

サムスンディスプレイは、これまでは線形（リニア）ソース方式の蒸着技術を適用してきた。薄い長方形の坩堝に複数のノズルを並べて配置した後、熱を加えるて有機物が蒸発させて、天板の基板に製膜する。 

この技術は、最も信頼性の高い技術であるが、中小型フレキシブルOLEDパネル向けの4Kに解像度には適用できない。現在商用化された中小型フレキシブルOLED解像度はQHD +が最も高い。蒸着機ソースの方式はもちろん、ファインメタルマスク（FMM）などに関するいくつかの部品の技術をアップグレードすれば、4Kの解像度を実現することができる。

サムスンディスプレイは蒸着ソース技術を一段階アップグレードして、この解決策を模索していると思われる。線形ソース方式は、基板1枚を蒸着するために複数回のソースの位置を移動させなければならない。面ソース方式は、基板全体のサイズにわたって蒸着できるため、一度に蒸着することができる。生産時間を短縮することができ蒸着位置もより正確になり、高解像度を実現するために有利である。

サムスンディスプレイは、新しい蒸着ソース技術を開発したが、すぐに量産ラインに適用しなかった。内部検証を加えて完成度を高める必要もあり、すぐに新規投資計画を確定していないからである。 業界では、サムスンディスプレイがA5工場に投資するときには、新しい面ソース蒸着技術を適用する可能性があると予想した。リニアソース方式と差別化して技術格差をさらに広げることができ、製品の性能と生産性を改善する効果も期待できるからである。