○2022年11月18日 UBIリサーチ
2022年11月9日から11日までフェニックス平昌で開かれた「2022ディスプレイ総括ワークショップ」で、H&irujaが8.5世代基板用中小型OLEDパネルの量産のための超清浄で低損傷なクラスタスパッタの開発研究課題について発表を行った。
H&irujaでは「モバイル機器向けのパネルサイズの大型化とノートパソコン、タブレットPC、モニターなどのIT機器へのOLEDパネルの適用拡大により、大型基板を採用した場合、歩留まり向上と生産性の増大が重要になった」と話し、「これと共に高解像度ディスプレイの要求としてこのため超清浄で低損傷に有利なクラスタスパッタの開発が必要だ」と発表した。
H&irujaは超清浄で低損傷な8.5世代クラスタスパッタ開発行い、装備の性能はサムスンディスプレイが検証する。
H&irujaは「1次年度の2021年には、8.5世代の真空システム構成決定と薄膜均一も確保用シミュレーションおよび基盤技術検証を完了した。2次年度の2022年には、8.5世代用カソード評価用チャンバーとテストキット製作による単位技術検証を進行中であり、温度とプラズマシミュレーション、薄膜分析による最適化を進めている」と伝え、「今後は8.5世代スパッタ装備開発とスパッタ性能と信頼性確保を課題に開発する計画だ」と発表した。
最後に、「世界的に高解像度中小型OLED市場の拡大が予想される中、大面積クラスタスパッタの開発が完了すれば、韓国だけのディスプレイ競争力確保が可能だ。同研究課題解決により、素材-モジュール-製造装置-パネル需要企業につながる堅固なSCMを構築し、良質な部品と装置の需給、供給の安定性を確保できる」と強調して発表を終えた。
