2017年 5月 31日　UBIリサーチ

4月5日に東京ビッグサイトで開催されたFinetech Japan 2017で、ブイ・テクノロジー（ブイ・テクノロジー）は738ppiのUHDを実現できる‘FHM（Fine Hybrid Mask）’を公開した。

 従来のFMM（Fine Metal Mask）は、架張と溶接で製造される。しかし、この製造方式は難しいだけではなく、パターン（穴）と自重によるたわみなど、マスクの構造的な限界で、高解像度の実現は中々できなかった。

 昨年のFinetech Japan 2015で、ブイ・テクノロジーはこのような欠点を改善したFMMのコンセプトを発表したことがある。2年後、今回の2017では、コンセプトを具現化し、量産可能なプロトタイプのFHMを公開したのである。

ブイ・テクノロジーのFHMには、従来の製造方式とは異なり、Electroforming方式とNon-tension構造が採用された。関係者によると、この方式でFMMの重量を従来の1/10まで軽減し、自重によるマスクのたわみと影の影響に関する問題も解決できたと述べた。また、製造方式を変更することで、FMMの精密度を向上し、738ppiのUHDが実現できたと付け加えた。

ブイ・テクノロジーは、FHMとともにFHMを活用できる垂直型蒸着システム（Vertical Deposition System）のコンセプトを公開した。このシステムは、ガラス基板とFHMを垂直に搬送し、各々最大2枚まで同時蒸着することができる。

また、ブイ・テクノロジー関係者は「垂直型蒸着システムは、蒸発源とFHMとの距離を縮め、拡散光によるStep Coverage（段差被覆性）とUniformity（均一性）の低下に関する問題を改善した。蒸着装置が垂直型であるため、不純物がFHMやガラス基板に付着しにくくなり、歩留まり率を向上することができる」と語った。

最近、高解像度に対する消費者のニーズを高まり、そのニーズを満足させるために関連業界の動きが活発化している中、ブイ・テクノロジーのFHMが一つの解決策になるか、今後の展開に注目が集まる。