ブラックライト
あやしく輝くブラックライト。メインの波長は紫外線。ホコリを励起して光らせる。直接見ないように気を付ける必要があるが、クリーン環境のチェックに便利。

拭くか乾燥か水切りか
洗ったあとの食器に残った水は、布巾で拭くか自然乾燥するか、人それぞれ。洗浄後に半導体ウェハ上に残った水は遠心力で飛ばし切る。

純水
普通の水には細かいゴミや微生物など不純物が入っている。水だけの水が純水。きれいな空気ときれいな水がクリーン化に重要。

ＨＥＰＡフィルタ
クリーンルーム用として発展したＨＥＰＡフィルタ (High Efficiency Particulate Air Filter) 。今では、家庭用空気清浄器や掃除器にも使われている。

局所クリーン化
製品を扱う肝心な場所だけ特にクリーンにするのが局所クリーン化。効率的なクリーン化に有効。

異音とダスト
モーター、ポンプなど動いているモノからの異音には要注意。擦れや擦り切れによるダスト発生の可能性あり。

クリーンルームはＬＳＩ製造とともに発展
ＬＳＩ製造ではダストが大敵。半導体基板に付着すると小さなトランジスタや配線が形作れない。ダスト以外にトランジスタの性能を台無しにする重金属とナトリウムが嫌われもの。ナトリウムは人の汗にたっぷり含まれる。人は無塵服に身を包み、半導体基板を直接さわることはご法度。

身近な微粒子のサイズ（直径）
スギ花粉は３０μｍ＝０．０３ｍｍくらい、小麦粉は１００μｍ＝０．１ｍｍくらい、精製塩は５００μｍ＝０．５ｍｍくらい。小さな粒子は宙を舞い大きな粒子は直ぐ落ちる。

タバコの煙のサイズ
タバコの煙のサイズは可視光の波長程度（０．４～０．８μｍ）。紫煙といわれ青っぽく見えるのは、波長が短い青や紫色の光が散乱されるから。人が吐き出すタバコの煙は水分を吸って膨張し、全色が散乱され白く見える。雲が白いのと同じ。

クリーンルームの整理整頓
部屋が散らかっていると概してホコリが多い。クリーンルームでも然り。整理整頓はダスト低減の第一歩。

スクラバー
クリーンルーム中の空気を循環させるとき、室内からの排気を水スクラバーに通す。水と混ぜて空気中のダストを取り除いてから室内に戻す。雨後にちりが一掃され晴天になるのと似ている。

粘着マット
クリーンルームに入る前に踏むのが粘着マット。靴底やキャスターの汚れをとるのに有効。

粘着ローラー
クリーンルームへ入れる物品には、ハタキや雑巾がけの他に粘着ローラーを表面に転がすと、ダスト除去に有効。

クリーンルームの性能と費用
クリーンルームが高性能になれば、それだけ費用（設備費と維持費）もかさむ。 必要とするクリーンルームの性能を見極めることが事業を維持するうえで重要。

ＰＭ２．５
中国の大気汚染でＰＭ２．５が話題になっている。直径２．５μｍくらいの微粒子で肺の奥まで入り込み健康を害するのだとか。半導体のクリーンルームでは、ＰＭ２．５の１／１０以下のサイズのダストでも問題になる。最新の半導体デバイスのパターンサイズが０．１μｍ以下だからだ。

半導体クリーンルームとバイオクリーンルーム
半導体クリーンルームではダストの存在を極端に嫌う。そのため、クリーンルーム内の圧力を外部よりやや高くして、外部からのダストの流入を防ぐ。一方、病原菌などを扱うバイオクリーンルームでは、クリーンルーム内の圧力を外部よりやや低くして外部への病原菌の流出を防ぐ。