2024年12月19日 Trend Force

Veeco Instruments Inc.は、MicroLED技術の業界リーダーであるPlayNitrideが、次世代MicroLEDの生産に向けてVeecoのLumina MOCVDシステムを採用し、2025年納入予定のシステム2台を追加注文したと発表しました。この決定は、VeecoのLumina® MOCVDシステムの評価が成功裏に終わったことを受けたものです。

「ウェアラブル、テレビ、透明ディスプレイ、自動車向けの業界をリードするMicroLED技術の生産および商業化において、Veecoと提携できることを嬉しく思います」と、PlayNitrideのCEO兼会長であるチャールズ・リー博士は述べました。「Luminaシステムは市場の要求を超える性能と生産性の優位性を提供し、当社の技術とコスト戦略を前進させるうえで不可欠な役割を果たしています。」

「MicroLED技術の最前線を行くPlayNitrideによるLuminaシステムの採用は、当社の優れたMOCVD技術にとって大きな勝利です」と、VeecoのMOCVD製品ライン管理担当副社長であるアニル・ヴィジャイエンドラン氏はコメントしました。「VeecoのLuminaシステムは、当社のコア技術であるTurboDiscテクノロジーの実績ある性能を活用し、大量生産に広く使用されています。PlayNitrideのような業界リーダーは、優れた均一性、輝度、欠陥率の低さ、そして無類の所有コスト効率を実現するソリューションを必要としており、Luminaシステムはこれらすべてを提供します。」

Luminaシステムの中核には、Veecoの業界をリードするMOCVD TurboDiscテクノロジーがあり、厚みや組成の均一性が優れ、欠陥率が低いため、極めて高い歩留まりを実現します。この独自技術は、長期間にわたるクリーンな反応炉によって高スループットをサポートします。また、システムはウェーハサイズのシームレスな移行を可能にし、最大8インチ径のウェーハ上に高品質なリン化ヒ素（As/P）エピタキシャル層を堆積できます。

さらに、このLuminaシステムは、IR-LED、エッジエミッティングレーザー、VCSEL（垂直共振器面発光レーザー）、および太陽電池の大量生産において、最大の価値を提供するためにカスタマイズ可能です。