○2023年6月20日　The Elec

Sunicは中国のディスプレイメーカのSeeYa TechnologyとOLEDoS（OLED on Silicon）量産用蒸着装置の供給契約を締結したと19日に明らかにした。契約規模は322億ウォンで、納期は来年6月までです。

OLEDoSは拡張現実（XR）デバイスに使用できる代表的なマイクロディスプレイ技術です。OLEDoSは不透明なシリコン基板上にOLEDを堆積するため、透明なガラス基板上にOLEDを堆積する従来の方法とは、Align用ビジョン技術において異なります。

ガラス基板は透明であるため、シャドーマスクを正確な位置に配置するためのアラインキー（Align Key）がアライメント用ビジョンに表示されますが、シリコン基板は不透明であるため、別の光学技術とアライメント技術が必要です。

SunicがOLEDoSの量産用蒸着装置の供給契約を締結するのは今回が3回目です。Sunicは2018年にSeeYa（295億ウォン）、2020年にBOE（BMOT、276億ウォン）などとそれぞれOLEDoSの量産用蒸着装置の供給契約を締結しています。

SeeYaの今回のOLEDoS向けのの量産用蒸着装置の発注は、中国のOLEDoS市場の拡大などを目的とした投資と推定されています。SeeYaは中国のドローン企業DJIなどと協力関係にあります。SeeYaは自社でもAppleにOLEDoSを供給することを目指していると報じられていますが、実現の可否はまだ不明です。BOEもSunicの設備を通じてOLEDoSを生産しています。BOEはさらにOLEDoSの生産ライン構築を検討していると報じられています。

現在までにSunicが製作した12インチOLEDoS量産用蒸着装置は、ホワイト（W）-OLEDに赤（R）、緑（G）、青（B）のカラーフィルターを取り付けるOLEDoSの生産に使用されてきた。今回SeeYaがSunicからの受注したOLEDoS量産用蒸着装置もWOLED+CF方式のOLEDoS生産に使用される。

Sunicは先月、Samsung DisplayからRGB方式OLEDoS研究開発（R&D）用蒸着装置の受注を受けた。RGB方式OLEDoSは、RGBサブピクセルを発光層に隣接蒸着する方式である。RGB方式OLEDoS蒸着装置でも高精度なアライメント技術が必要とされる。