2023.10.22 ET News

 

APSは、マイクロ有機EL（OLED）ディスプレイ、'OLEDoS'の解像度を劇的に向上させる技術を開発しました。有機材料の蒸着効率を向上させるためのマスクと、ナノレベルの高精度マスクアライメント装置です。拡張現実（XR）市場をターゲットに、マイクロディスプレイ技術競争が激化している中で、APSの研究開発が注目されています。

 

APSのジョン・ジェフン未来戦略技術部長（エグゼクティブ）は、20日に電子新聞が主催したテックサミットで、マイクロOLEDに適用される赤、緑、青（RGB）のダイレクトパターニング技術を初めて紹介しました。

 

RGBダイレクトパターニングは、RGB色を成膜する有機材料（OLED）を基板に直接蒸着する方法で、現在の商用技術であるホワイト（W）-OLEDを基にして色フィルターを介して光を生成する方法よりも、明るさ、画質、コントラスト比などで優れた性能を実現できます。ソニーがApple Vision Proに供給しているOLEDoSパネルは、W-OLEDベースのマイクロディスプレイです。

 

ジョン部長は、「昨年末には世界で初めて3000PPI（インチ当たりのピクセル数）クラスのRGBマイクロOLEDを実現し、最近では3500PPIの試作品まで開発に成功しました」と述べ、「マイクロOLEDの性能向上には欠かせないマスクおよびアラインメント新技術も同時に確保しました」と述べました。

 

APSは、マイクロOLEDの性能向上のためにマスクエッチング技術を拡張したと説明しています。RGB有機材料を蒸着するには、薄い金属板であるファインメタルマスク（FMM）が必要です。FMMの微細な穴を通じてOLEDを蒸着するため、高性能ディスプレイはFMMの微細な穴の加工技術に左右されます。APSは独自のレーザー技術でFMMを加工してきました。

 

ジョン部長は、「PPIを高めるために、シリコンベースの次世代マスク（FDS）およびプラズマエッチング技術を使用して穴を開ける技術を開発しました」と述べ、「従来の3000PPI以上のマイクロOLEDの確保に貢献するでしょう」と述べました。

 

シリコンベースのマスクとプラズマエッチング技術の組み合わせは、これまでに一度もマイクロOLED開発に適用されていなかった技術です。APSの技術が市場の変化をリードするかどうかが注目されています。

 

彼は「アライナー（位置合わせ装置）の性能も大幅に向上させました」と強調しました。アライナーはガラス基板にOLED有機材料を蒸着する際にマスクを位置合わせする装置です。マスクの位置合わせ精度は、マイクロOLEDの解像度に直接影響を与えるほど重要です。従来の位置合わせ精度はマイクロメートル（μm）でしたが、APSは最近、0.1μmクラスの位置合わせ精度を確保したと述べました。

 

彼は「実質的にはナノレベルのマスク整列が可能になりました」とし、「マイクロOLEDプロセス向けの冷却装置や原子層堆積技術も現在開発中」と付け加えました。

 

APSは、確保した新技術を活かして、来年、4000PPIクラスのマイクロOLEDを開発する予定です。

 

ジョン部長は、「APSは、マスクおよびマスク処理、アライナー、蒸着まで、マイクロOLED分野における 'トータルソリューション'を提供できる唯一の企業です」と強調しました。