2018.10.28　ET News

サムスンディスプレイは、次世代大型ディスプレイ量子ドット（QD） - 有機EL（OLED）のパイロットラインを構築する。 12月から関連製造装置の設置、6ヶ月後に稼働する。パイロットラインでの技術と生産性を確保すると、すぐに続いて量産投資を断行する。

サムスンディスプレイは、パイロットラインに韓国製の装置の比重を高めた。封止（TFE）工程での地位を固めたアプライドマテリアルズのPECVDを採用せずに、APシステムがこの装置を供給することが分かった。PECVD工程で、サムスンディスプレイの供給を独占してきたアプライドを締め出し、ウォンイクIPSも新たに参入できる可能性が強い。次世代大型OLED装置の市場で韓国企業の躍進が期待されている。

28日の業界筋によると、サムスンディスプレイは、12月からQD-OLEDを試験生産向けのパイロットラインの装置搬入を開始する。

試作ラインの位置は忠清南道牙山市湯井の第8世代液晶（LCD）ラインのL8である。 L8はL8-1とL8-2に分けられる。 QD-OLEDパイロットラインはL8-1の一部を利用して設けられる。 L8-1は、主に48・55インチアモルファスシリコン（a-Si）LCDを生産するラインである。生産能力は月15万枚規模だ。

サムスンディスプレイはL8-1の一部を利用して月2万5000〜2万7000枚規模QD-OLEDパイロットラインを構築する。正式の生産ラインではなくて従来のLCD工場の設備を最大限に活用し、重要な前工程の装置を一部の新た搬入する。現在、新しいライン造成のためのガス装置などを設置していることが分かった。

目を引くのは、新しいQD-OLEDパイロットプラントに入る重要な前工程装置へ、韓国企業の割合が大きくなったという点だ。 APシステムは、第8世代規格のTFE機器を新たに納品するものと見られる。この企業は、サムスンディスプレイの第8世代RGB OLED TVの生産ライン「V1」にTFE機器を供給している。サムスンがRGB OLED TVの開発を中止し、追加投資をしなかったので、それ以降の供給の機会を見つけられなかった。以後は6世代フレキシブルOLED用レーザリフトオフ（LLO）、レーザー結晶化（ELA）、ラミネート装置を供給し、サムスンのコアパートナーとしての地位を固めた。 サムスンディスプレイは、6世代フレキシブルOLED TFE工程にはアプライドマテリアルズの装置をこれまで使用してきた。新たに挑戦する次世代の8世代では、事業協力の経験があるAPシステム機器を選択した。 

プラズマ化学気相蒸着（PECVD）装置も、従来のアプライドを抜いてウォンイクIPSが、最初に採用される余地が大きいことが分かった。ウォンイクIPSは、サムスンディスプレイに薄膜トランジスタ（TFT）形成工程で使用されるドライエッチング装置を主に供給してきた。半導体用プラズマ化学気相蒸着（PECVD）装置を生産するが、ディスプレイ市場では、アプライドに押されて供給量が少なかった。 

青色OLED発光層の形成のための蒸着装置は、キヤノントッキが8世代規格の機器を納品する。赤と緑のQDを印刷するインクジェット印刷装置は、米国カティーバ供給する。